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本文標題:掃描電子顯微鏡工作原理

信息分類:站內新聞　新聞來源：未知發布時間：2014-4-10 10:04:57

掃描電子顯微鏡工作原理

探測收集轉變為光信號，再經光電和放大器轉變為電信號來控制屏上

電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，

反映了標本的外部結構。

為了使標本外觀發射出次級電子，標本在固定、脫水后，要噴涂上一

層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

光學顯微鏡由電子槍發射的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚

光鏡及物鏡的縮小形成能譜儀獲得。具有一定能量、強度微細電子束

，在掃描驅動下樣品外部，形貌觀察式掃描。

聚焦電子束與相互作，產生二次電子發射信號。二次電子信號被探測

器收集轉換成電訊號，經放大后輸入柵極，調制與入射電子束同步掃

描的顯像管亮度，得到二次電子像。

放大率與普通光學顯微鏡不同，是通過控制掃描區域的大小來控制放

大率的。如果要高的放大率，只需要掃描小塊就可。放大率由面積除

以掃描面積得到。所以透鏡與放大率無關。

場深在焦平面上下的一小層區域內的樣品點都可以得到良好的會焦而

成象。小層的厚度稱為場深，通常為幾納米厚，所以用于納米樣品的

三維成像。

電子束與表層發生作用，它實際上厚度范圍內發生作用體積的厚度因

信號的不同而不同。